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无尘车间的洁净度往往受到气流的影响,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘车间所利用过滤器过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,滨江洁净室,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,洁净室多少钱,这些尘埃一旦扩散便无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。为了防止再次进入和往返作业对无尘车间造成交叉污染,人员在作业中途和作业宽毕均应按规定的顺序退出无尘车间。
洁净室的分类方法许多,但很多的分类方法是按洁净室的应用特性和洁净室的气流流型来分。1.按洁净室的应用特性区划为:①工业生产洁净室。比如电子工业、中国机械、化工厂工业生产等用的洁净室。②微生物洁净室。比如生物医1药、食品类、动物实验喂养,清洁手术室等。③微生物安全实验室。科学研究不微生物菌1种的洁净室。2.按洁净室的气流流型区划为:①单向流洁净室(竖直单向流和水准单向流)。②非单向流洁净室③混和流洁净室(即单向流和非单向流组成气流组成的洁净室。④矢流洁净室(放1射性流、顶角流)。
光学微电子净化工程目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。是将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
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