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无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一,无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,无尘厂房安装,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
无尘车间洁净厂房内各无尘车间洁净室的空气洁净度等级应满足生产工艺对生产环境的洁净要求,一般有如下规定,1、应根据空气洁净度等级的不同要求,选用不同的气流流型。 2、下列情况之者,其净化空调系统宜分开设置:(1)、运行班次或使用时间不同。(2)、生产工艺中某工序散发的物质或气体对其他工序的产品质量有影响。(3)、对温、湿度控制要求差别大。(4)、净化空调系统与一般空调系统。
无尘车间的温湿度操纵由其生产工艺流程决策,但其精度另外也需看其屋子的尺寸比如计量检定室、光纤传感器刻线室、仪器仪表生产制造和装配线车间等。前两者都为小屋子,滨江无尘厂房,中央空调精度(这儿关键指温湿度)规定高;后二者为很大的生产制造车间,温湿度精度规定较低。因此其屋子尺寸也会决策恒温恒湿设备车间的精度。无尘车间对温湿度的操纵决取于其生产工艺流程。在考虑制作工艺的标准下,还应当充分考虑人的舒适度。由于流汗之后,对商品将有环境污染,无尘厂房报价,非常是怕钠的半导体材料车间,这类车间不适合超出25度。环境湿度过高造成的难题大量。相对湿度超出55%时,冷却循环水壁厚上面冷凝水,假如产生在高精密设备或电源电路中,就会造成各种各样安全事故。相对湿度在50%易锈蚀。
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