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无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

洁净室的分类方法许多，但很多的分类方法是按洁净室的应用特性和洁净室的气流流型来分。 1. 按洁净室的应用特性区划为：①工业生产洁净室。比如电子工业、中国机械、化工厂工业生产等用的洁净室。②微生物洁净室。比如生物医1药、食品类、动物实验喂养，清洁手术室等。③微生物安全实验室。科学研究不微生物菌1种的洁净室。 2. 按洁净室的气流流型区划为：①单向流洁净室(竖直单向流和水准单向流)。②非单向流洁净室③混和流洁净室(即单向流和非单向流组成气流组成的洁净室。④矢流洁净室(放1射性流、顶角流)。 

    无尘车间的温湿度操纵由其生产工艺流程决策，但其精度另外也需看其屋子的尺寸比如计量检定室、光纤传感器刻线室、仪器仪表生产制造和装配线车间等。前两者都为小屋子，中央空调精度(这儿关键指温湿度)规定高；后二者为很大的生产制造车间，温湿度精度规定较低。因此其屋子尺寸也会决策恒温恒湿设备车间的精度。无尘车间对温湿度的操纵决取于其生产工艺流程。在考虑制作工艺的标准下，还应当充分考虑人的舒适度。由于流汗之后，对商品将有环境污染，非常是怕钠的半导体材料车间，这类车间不适合超出25度。环境湿度过高造成的难题大量。相对湿度超出55%时，冷却循环水壁厚上面冷凝水，假如产生在高精密设备或电源电路中，就会造成各种各样安全事故。相对湿度在50%易锈蚀。

    无尘车间的排架结构和房屋装修原材料宜采用密封性优良，另外在溫度、环境湿度等转变时，自身形变小的原材料；墙面和顶棚表面应光滑整平、不了灰、不尘埃、耐腐蚀、抗冲击、容易清洗。以便使无尘车间的工程建筑表面尽量避免积尘、易清理，应在建筑结构上防止或降低凸凹面，墙面与路面、墙面与顶棚、墙面与墙面的结合处也不适合制成一般的斜角，宜制成半经大于或等于50毫米的圆弧。壁面镀层的颜色要和睦、清雅、素净，便于于呈现壁面上的空气污染物。一样，路面也应保证整平、无间隙、耐磨损、耐腐蚀、抗冲击、不堆积静电感应、易除灰清理。