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发布时间:2020-05-04 10:44:00 作者:浙江科洁净化
净化车间主要作用在于控制产品所接触的大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,以保证产品质量,此空间我们称之为净化车间。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重,主体结构的耐久性需要与室内装备和装修水平相协调,并具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷的性能;洁净室顶棚,墙面和地板的材料必须是不易破1裂、不易沾颗粒,以及几乎不起尘的。另外根据房间不同的工作条件,还必须考虑材料的化学性能是否稳定;洁净室的高度以净高控制,净高应以100mm为基本模数;净化车间厂房的变形缝应尽量避免穿过洁净区;送、回风管和其他管线需暗敷时,应设置技术夹层、技术夹道或地沟等。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一,无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
无尘车间的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
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